ASMLÀÇ ºÐ»çÀÎ Brion Technologies´Â ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®¿ÍÀÇ Çù·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î 28nm¿Í 20nm ¹× Â÷¼¼´ë Ĩ °³¹ß¿¡ Çù·ÂÇÒ °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù. ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®¿Í ASML ºÐ»çÀÇ Çù·ÂÀº Â÷±â Ĩ Á¦Á¶ °øÁ¤ °³¹ßÀ» °¡¼ÓÇϴµ¥ ¿µÇâÀ» ÁÙ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ASMLÀº ÀÚ»çÀÇ Áøº¸ÀûÀÎ °³¹ß ¹æ¹ýÀÌ Â÷¼¼´ë Ĩ Á¦Á¶ µðÀÚÀÎÀÇ °øÁ¤ ¹× ÁøÇà °úÁ¤ ÄÁÆ®·Ñ ¸ðµÎ¸¦ °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇßÀ¸¸ç Á¤¹ÐÇÑ ÄÄÇ»ÅÍ ¸ðµ¨À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ÀÌµé ¹æ¹ýÀº Â÷±â °øÁ¤ °³¹ßÀÇ Áö·¿´ë ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®ÀÇ °ü°èÀÚ´Â 28nm¿Í ±× ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§Çؼ´Â Àü¹ÝÀûÀÎ °³¼±ÀÌ ÇÊ¿äÇϸç BrionÀÇ OPC¿Í ÄÄÇ»Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¼Ö·ç¼ÇÀº ¸ñÇ¥ ´Þ¼º°ú °í°´µé¿¡°Ô °¡´ÉÇÑ ÃÖ°íÀÇ ¼öÀ²À» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÉ °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.
BrionÀÇ Á¦³Ê·² ¸Å´ÏÀúÀÎ Kim KoonmenÀº ¿ì¸®´Â À̹ø ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®¿ÍÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ Çù·ÂÀ» ±â´ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®°¡ ÃÖ÷´Ü ±â¼ú·Î ÀÌ·ç¾î³¾ N28/ N20/ N14 ¹× Â÷±â Á¦Á¶ °øÁ¤À» ¼º°øÀûÀ¸·Î À̲ø¾î³¾ ¼ö ÀÖ°Ô µµ¿òÀ» ÁÙ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®´Â ±×µ¿¾È 32nm ÀÌÇÏÀÇ 28nm ¹× 20nm °øÁ¤ °³¹ß¿¡ ³Ç×À» °Þ¾î¿ÔÀ¸¸ç ÃÖ±Ùµé¾î 28nm °øÁ¤ Ĩ ¼öÀ² °³¼±ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ³´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÀüÇØÁö´Â µî ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß¿¡ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´Âµ¥ À̹ø Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß¿¡ ¼ûÅëÀÌ Æ®ÀÏ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
|