ÀÎÅÚÀº ½ºÄ«ÀÌ·¹ÀÌÅ©¿Í Ä«ºñ·¹ÀÌÅ©¿¡ À̾î Ãâ½Ã ¿¹Á¤ÀΠij³í·¹ÀÌÅ©(Cannolake) »ý»ê¿¡ 10nm °øÁ¤À» µµÀÔÇÒ °èȹÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Âµ¥, 10nm °øÁ¤ÀÇ ½ÃÇè »ý»êÀ» ¿ÃÇØ 3ºÐ±â ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤À̶ó´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÀüÇØÁ³´Ù.
¼¼´ëº°·Î °øÁ¤°ú ¾ÆÅ°ÅØó¸¦ ÀüȯÀ» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ±âÁ¸ ƽÅå Àü·«¿¡¼ '°øÁ¤ - ¾ÆÅ°ÅØó - ÃÖÀûÈ'ÀÇ »ï ´Ü°è Àüȯ Àü·« µµÀÔ ÈÄ Ã¹ °øÁ¤ ´Ü°èÀΠij³í·¹ÀÌÅ©´Â 2017³â ÇϹݱâ Ãâ½Ã ¿¹Á¤À̸ç, À̹ø 10nm °øÁ¤ ½Ã¹ü »ý»êÀÌ 3ºÐ±â ½Ç½Ã¸¦ ÅëÇØ Ä³³í·¹ÀÌÅ© Ãâ½Ã°¡ ÀÎÅÚÀÇ °èȹ´ë·Î Á¤»ó ÁøÇà µÇ´Â °ÍÀ¸·Î ÆǴܵȴÙ.
ÀÎÅÚÀÌ Ä³³í·¹ÀÌÅ©¿¡ ù Àû¿ëÇÒ 10nm °øÁ¤Àº ÀÌÈÄ ¼±º¸ÀÏ ¾ÆÀ̽º·¹ÀÌÅ©(Icelake)¿Í ŸÀÌ°Å·¹ÀÌÅ©(Tigerlake)±îÁö Àû¿ë, ÀÌÈÄ ¼¼´ë ¸ðµ¨¿¡´Â 7nm °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÉ °èȹÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Âµ¥, ÀÎÅÚÀº 10nm °øÁ¤ ±¸ÇöÀ» À§ÇØ ´õºí ÆÐÅÍ´× ±â¼úÀ» ¹Ýº¹ÇÏ´Â QPT(Quadraple Patterning Tech) ±â¼ú¿¡ ÁÖ¸ñÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
´ÜÁö, EUV ¹æ½Ä¿¡ ºñÇØ »ý»êÈ¿À²ÀÌ ÁÁÁö¸¸ °øÁ¤ÀÌ º¹ÀâÇØÁ® ¿ø°¡ »ó½Â °¡´É¼º ¹× °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¸¦ À§ÇÑ ´ëü ±¤¿øÀÌ °É¸²µ¹·Î ÁöÀû¹Þ°í ÀÖ¾î Â÷ÈÄ 7nm ¶Ç´Â 5nm¿¡ Àû¿ë °¡´É¼º¿¡ ´ëÇØ Àǹ®ÀÌ Á¦±âµÇ°í ÀÖ´Ù.
|