TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company)´Â 2010 Technology Symposium¿¡¼ ÇöÀçÀÇ 40nm¸¦ À̾î 28nm °øÁ¤À¸·Î À̵¿ÇÑ ÈÄ 22nm´Â °Ç³Ê¶Ù°í ¹Ù·Î 20nm °øÁ¤À» Àû¿ëÇÒ °èȹÀ» ¼Ò°³Çß´Ù°í tcmagazineÀº ÀüÇß´Ù.
TSMCÀÇ °æ¿ì 40nm ÀÌÈÄ 32nm °øÁ¤À» °Ç³Ê¶Ù°í 28nm High-K Metal Gate °øÁ¤À» Àû¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ¾ú´Âµ¥ À̹ø 20nm °øÁ¤ Àû¿ë °èȹÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È¿¡ ´õ¿í ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
TSMC´Â 20nm °øÁ¤À¸·ÎÀÇ ÀÌÀüÀº 22nm °øÁ¤°ú ºñ±³ÇÏ¿© °ÔÀÌÆ® ¹Ðµµ¿Í ĨÀÇ ¼º´É Çâ»ó, ±×¸®°í ºñ¿ë Ãø¸é¿¡¼ À¯¸®ÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¾ð±ÞÇßÀ¸¸ç, º¸´Ù Áøº¸µÈ ±â¼ú·ÂÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù. TSMCÀÇ 20nm °øÁ¤Àº High-K Metal GateÀÇ Çâ»ó°ú »õ·Î¿î ½ºÆ®·¹ÀÎµå ½Ç¸®ÄÜ ±â¼ú, ³·Àº ÀúÇ×·ÂÀ» °¡Áø ±¸¸® Ultra-Low-K ¿¬°áÀ» ÅëÇØ Àü·Â ´©¼ö¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̸ç, °íŬ·°À» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÉ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
TSMC´Â 2012³â ÇϹݱâºÎÅÍ 20nm °øÁ¤À» ½ÃÇèÀûÀ¸·Î Àû¿ëÇÒ »ý»ê °èȹÀ» °®°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª, TSMCÀÇ 40nm °øÁ¤ÀÇ °æ¿ì 20nm °øÁ¤ÀÌ µîÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â 2012³â ÇϹݱâ ÁîÀ½¿¡´Â ÇöÀ纸´Ù ¾î´À Á¤µµ ¾ÈÁ¤È°¡ ÁøÇàµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇÁö¸¸, 20nm °øÁ¤ ¿ª½Ã 40nm °øÁ¤ÀÇ µîÀåó·³ ¼øźÇÏÁö¸¸Àº ¾ÊÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
|