´º½º
 








 
 
 




Àü¼Û 2018-10-18 10:32
[´º½º]

»ï¼ºÀüÀÚ, EUV ±â¹Ý 7nm LPP °øÁ¤ »ý»ê ½ÃÀÛ

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 7nm(³ª³ë¹ÌÅÍ) EUV °øÁ¤ÀÇ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ º¸µµÀڷḦ ÅëÇØ EUV ±â¹ÝÀÇ 7nm LPP (Low Power Plus) °øÁ¤ »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

»õ·Î¿î 7nm LPP(ÀÌÇÏ 7LPP) °øÁ¤Àº ±ØÀڿܼ±(EUV)À» ÀÌ¿ëÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀ» µµÀÔÇØ 20% ´õ ³ôÀº ¼º´É ¶Ç´Â 50% ´õ ³·Àº Àü·Â ¼Òºñ·Î ¸éÀû È¿À²¼ºÀ» ÃÖ´ë 40%±îÁö Áõ°¡½ÃÄÑ ÈξÀ ÀûÀº ¼öÀÇ ·¹À̾î·Î ´õ ³ªÀº ¼öÀ²À» Á¦°øÇÏ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é ±âÁ¸ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÈ ArF(Argon Fluoride) ¾×ħ ³ë±¤ ±â¼ú ÆÄÀåÀÌ 193nm·Î °ªºñ½Ñ ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× ¸¶½ºÅ© ¼¼Æ®°¡ ÇÊ¿äÇßÁö¸¸, EUV´Â 13.5nm ÆÄÀåÀÇ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇØ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ³ëÃâ½ÃÅ°°Ô µÈ´Ù.

À̸¦ ÅëÇØ ArF ±â¼ú·Î ÃÖ´ë 4°³ÀÇ ¸¶½ºÅ©°¡ ÇÊ¿äÇß´ø ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¸¦ EUV¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ´ÜÀÏ ¸¶½ºÅ©¸¦ »ç¿ëÇØ µ¿ÀÏÇÑ ·¹À̾ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. °á°úÀûÀ¸·Î 7LPP °øÁ¤Àº EUV ±â¼úÀÌ µé¾î°¡Áö ¾ÊÀº ±âÁ¸ °øÁ¤°ú ºñ±³ÇØ ÃÑ ¸¶½ºÅ© ¼ö¸¦ ¾à 20%±îÁö ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î °í°´ÀÇ ½Ã°£°ú ºñ¿ëÀ» Àý¾àÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀº ¶ÇÇÑ ´ÙÁß ÆÐÅÍ´× º¹À⼺À» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ¼³°è »ý»ê¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°¸é¼­ ¼º´É Çâ»ó°ú ÀúÀü·Â ¹× ¸éÀû Å©±â¸¦ ÁÙ¿©ÁØ´Ù.»ï¼ºÀüÀÚ 7nm LPP ±â¼úÀº ÀÌÀüÀÇ 10nm FinFET°ú ºñ±³ÇÒ ¶§ ·¹ÀÌ¾î ¼ö °¨¼Ò¿Í ¼öÀ² °³¼±À¸·Î °øÁ¤ º¹À⼺À» Å©°Ô ÁÙ¿©ÁÙ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó 20% ³ôÀº ¼º´É ¶Ç´Â ÃÖ´ë 50% ³·Àº Àü·Â ¼Òºñ·Î ¸éÀû È¿À²¼ºÀ» ÃÖ´ë 40%±îÁö Çâ»ó½ÃŲ´Ù.

 

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2000³â´ë EUV ¿¬±¸ °³¹ßÀ» ½ÃÀÛÇØ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ EUV ¼³ºñ °ø±Þ ¾÷ü(ASML)¿Í Çù·Â °ü°è¸¦ ÅëÇØ EUV ¿þÀÌÆÛÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ Á¦Á¶ ½Ã¼³¿¡ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÔÀ¸·Î½á Ź¿ùÇÑ ÁøÀüÀ» ÀÌ·ç¾úÀ¸¸ç Ãʱâ EUV »ý»êÀº È­¼º¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ï¼º S3 Fab¿¡¼­ ½ÃÀÛÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¶ÇÇÑ Â÷¼¼´ë Ĩ ¼³°è¸¦ À§ÇØ ´ë·® »ý»êÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °í°´À» À§ÇØ 2020³â±îÁö »õ·Î¿î EUV ¶óÀÎÀ» ÅëÇØ Ãß°¡ ¿ë·®À» È®º¸ÇÒ °ÍÀ̸ç, EUV ¸¶½ºÅ©¿¡¼­ Á¶±â °áÇÔ Å¾Áö¸¦ ¼öÇàÇÏ´Â °íÀ¯ÇÑ ¸¶½ºÅ© °Ë»ç µµ±¸¿Í °°Àº µ¶Á¡ÀûÀÎ ±â´ÉÀ» °³¹ßÇØ Á¦Á¶ Ãʱ⿡ ±×·¯ÇÑ °áÇÔÀ» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô Çß´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.

±× ¹Û¿¡ »ï¼º °í±Þ ÆÄ¿îµå¸® »ýÅ°è(Samsung Advanced Foundry Ecosystem, SAFE)¸¦ ÅëÇØ °í°´ÀÌ »õ·Î¿î Ç÷§Æû¿¡¼­ Á¦Ç°À» °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¼º´É ¹× °í¹Ðµµ Ç¥ÁØ ¼¿¿¡¼­ºÎÅÍ HBM2/2e ¸Þ¸ð¸® ÀÎÅÍÆäÀ̽º ¹× 112G SerDes ÀÎÅÍÆäÀ̽º¿¡ À̸£±â±îÁö °í°´ÀÌ 7LPP¿¡¼­ ¼³°è¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµ¿ï °ÍÀ̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

 

ÇÑÆí, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ °°ÀÌ 7nm °øÁ¤¿¡¼­ EUV ±â¼ú µµÀÔÀ» °­Á¶ÇÑ °ÍÀº ÆÄ¿îµå¸® °æÀï ¾÷üÀÎ TSMC¸¦ ÀǽÄÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. TSMC´Â ¿ÃÇØ º»°ÝÀûÀÎ 7nm ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇØ ¿©·¯ ±â¼ú ±â¾÷µéÀÇ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ EUV ±â¼úÀ» µµÀÔÇÑ °øÁ¤Àº ¾Æ´Ï¾ú´Ù.

±×·¯³ª TSMC ¿ª½Ã ÃÖ±Ù EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 2¼¼´ë 7nm ±â¼ú(N7+) Å×ÀÌÇÁ ¾Æ¿ôÀ» ¸¶ÃÆÀ¸¸ç ³»³â »ó¹Ý±â¿¡ 5nm °øÁ¤ ¾ç»ê Áغñ¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤À̶ó ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼­´Â TSMC°¡ ¼±µÎ ÀÚ¸®¸¦ °è¼Ó À¯ÁöÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

´Ù¸¸ ¶Ç ´Ù¸¥ °æÀï ¾÷üÀÎ ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸®°¡ 7nm °øÁ¤ µµÀÔÀ» ¹«±âÇÑ ¿¬±âÇÑ »óȲÀÌ°í, ¾ÆÁ÷ 14nm °øÁ¤¿¡ ¸Ó¹°°í ÀÖ´Â ÀÎÅÚÀ» ºñ·ÔÇØ ¾ÖÇÃ, Ä÷ÄÄ, ¿£ºñµð¾Æ, AMD µî 7nm °øÁ¤À» ¿øÇÏ´Â ±â¼ú ±â¾÷µéÀº °è¼Ó ´Ã°í ÀÖ¾î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¿¹Á¤´ë·Î 7LPP ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇϸé ÀÚü ¼ö¿ä ¿Ü¿¡ ÆÄ¿îµå¸® °í°´À» È®º¸Çϴµ¥ ¹®Á¦°¡ ¾øÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.


  Å±×(Tag)  : ½º¸¶Æ®Æù, ÆÄ¿îµå¸®, ¹ÝµµÃ¼, TSMC
°ü·Ã ±â»ç º¸±â
[¿µ»ó] ÀÎÅÚ°ú AMD°¡ Çù·ÂÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù?,¿µ¿øÇÑ Àûµµ ¾Æ±ºµµ ¾ø´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è Á¤¸®
[¿µ»ó] »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ßº° Àû°ú ¾Æ±ºÀ» ¸íÈ®ÇÏ°Ô ±¸ºÐÇؼ­ º¸´Â ¹ý
[¿µ»ó] ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è ±¸µµ ¿ÏÀüÁ¤º¹!, ¸Þ¸ð¸®/¼³°è/»ý»ê µî ¾î·Á¿î ¹ÝµµÃ¼ ´º½º ÀÌÇØÇϱâ
[¿µ»ó] ¾î·Á¿î ¹ÝµµÃ¼ ´º½º!,¿¹½Ã·Î ¾Ë¾Æº¸´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è µ¿Çâ ´º½º ÀÌÇØÇϱâ
[¿µ»ó] ÆÄ¿îµå¸®°¡ ¾ø¾î ÇູÇÑ AMD...? ÀÎÅÚ ¸ÞÅ׿À·¹ÀÌÅ© ¾ÆÅ°ÅØó ¹ßÇ¥ µî,10¿ù PC ´º½º Çؼ®Çص帳´Ï´Ù
[¿µ»ó] TSMC´Â ¾î¶»°Ô ÆÄ¿îµå¸® 1µîÀÌ µÇ¾ú³ª? »ï¼º ÆÄ¿îµå¸®´Â?,[ÆÄ¿îµå¸® 2ºÎ]
ű×(Tags) : ½º¸¶Æ®Æù, ÆÄ¿îµå¸®, ¹ÝµµÃ¼, TSMC     °ü·Ã±â»ç ´õº¸±â

  À̼ö¿ø ¼ö¼®±âÀÚ / Çʸí ÆødzÀü¾ß / ÆødzÀü¾ß´Ô¿¡°Ô ¹®ÀÇÇϱâ swlee@bodnara.co.kr
³²µé ÁÁ´Ù´Â °ÍÀº ´Ù µû¶ó ÇÏÁö¸¸ Á¤ÀÛ ±í°Ô ÆÄ°íµéÁö´Â ¸øÇÏ´Â ¼º°ÝÀÌ´Ù. Á¤¸» ÁÁ¾ÆÇÏ´Â ÀÏÀº Ãë¹Ì·Î ÇÏ·¨´Âµ¥, ¾î¼´Ù Á÷¾÷ÀÌ µÇ´Â ¹Ù¶÷¿¡ ÀÏ°ú Áö¸§ÀÌ ÀϽɵ¿Ã¼ÀÎ »îÀ» »ì°í ÀÖ´Ù.
±âÀÚ°¡ ¾´ ´Ù¸¥ ±â»ç º¸±â

Creative Commons License º¸µå³ª¶óÀÇ ±â»ç´Â ÀúÀÛÀÚÇ¥½Ã-ºñ¿µ¸®-º¯°æ±ÝÁö 2.0 ´ëÇѹα¹ ¶óÀ̼±½º¿¡ µû¶ó ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Copyright ¨Ï ³Ø½ºÁ¨¸®¼­Ä¡(ÁÖ) º¸µå³ª¶ó ¹Ìµð¾î±¹
½ÎÀÌ¿ùµå °ø°¨ ±â»ç¸µÅ© ÆÛ°¡±â ±â»ç³»¿ë ÆÛ°¡±â ÀÌ ±â»ç¸¦ ÇϳªÀÇ ÆäÀÌÁö·Î ¹­¾î º¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Ãâ·Âµµ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
ȨÀ¸·Î žÀ¸·Î
º¸µå³ª¶ó ¸¹À̺» ±â»ç
¸ÞÀκ¸µå Ĩ¼Â¾ø´Â ¹Ì´Ï PC, ASRock µ¥½ºÅ©¹ÌÆ® X600 ½Ã¸®Áî Ãâ½Ã
½Ã±×¸¶, Ç®ÇÁ·¹ÀÓ ¹Ì·¯¸®½º Ä«¸Þ¶ó¿ë SIGMA 50mm F1.2 DG DN | Art ·»Áî ¹ßÇ¥
»ï¼ºÀüÀÚ, °¶·°½Ã ÅÇ S6 ¶óÀÌÆ® (2024) ±Û·Î¹ú Ãâ½Ã
´Ü 5Àϸ¸ ÇýÅà Á¦°ø! ·çÄÄÁîÀüÀÚ ¡®³×À̹ö ½´ÆÛ Æ÷ÀÎÆ® À§Å©¡¯ ÁøÇà
±×·¡ °áÁ¤Çß¾î! QHD¿ë VGA, ¶óµ¥¿Â RX 7900 GRE vs ÁöÆ÷½º RTX 4070 Super
»õ·Î¿î 4K °ÔÀÓ ½Ã´ëÀÇ ¿©¸í,±â°¡¹ÙÀÌÆ® ¾î·Î½º ÁöÆ÷½º RTX 4080 Super Master Á¦À̾¾Çö
½Ç¿Ü ¸Õ °÷±îÁö ¿¬°áµÇ´Â 5GHz ¹«¼± AP, ipTIME Outdoor-A900
°íÇØ»óµµ °íÇ°Áú °ÔÀÓÀ» À§ÇÑ »õ·Î¿î ¼±ÅÃ, ZOTAC GAMING ÁöÆ÷½º RTX 4070 Ti SUPER Trinity Black
   ÀÌ ±â»çÀÇ ÀÇ°ß º¸±â
Æ®À§ÅÍ º£Å¸¼­ºñ½º °³½Ã! ÃֽŠPC/IT ¼Ò½ÄÀ» Æ®À§Å͸¦ ÅëÇØ È®ÀÎÇϼ¼¿ä @bodnara

±âÀÚÀÇ ½Ã°¢ÀÌ Ç×»ó ¿ÇÀº°ÍÀº ¾Æ´Õ´Ï´Ù. ³ª¸ÓÁö´Â ¿©·¯ºÐµéÀÌ Ã¤¿ö Áֽʽÿä.

2014³âºÎÅÍ ¾î·Á¿î À̾߱⸦ ½±°Ô ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÆíÁý¹æħÀ» ¹Ù²ß´Ï´Ù.

ÇÁ¸®½ºÆ® rubychan´ÔÀÇ ¹Ìµð¾î·Î±× °¡±â  / 18-10-25 10:24/ ÀÚ±¹/ ½Å°í/ ÀÌ´ñ±Û¿¡´ñ±Û´Þ±â
¼öÀ²Àº Àß ³ª¿À´Â°¡
´Ð³×ÀÓ À¥º¿¹æÁö

ȨÀ¸·Î žÀ¸·Î
 
 
2024³â 03¿ù
ÁÖ°£ È÷Æ® ·©Å·

[°á°ú¹ßÇ¥] 2023³â 4ºÐ±â Æ÷ÀÎÆ® ¼ÒÁø ·Î¶Ç 23
[°á°ú¹ßÇ¥] 2023³â 3ºÐ±â Æ÷ÀÎÆ® ¼ÒÁø ·Î¶Ç 16
[°á°ú¹ßÇ¥] 2023³â 2ºÐ±â Æ÷ÀÎÆ® ¼ÒÁø ·Î¶Ç 18
[°á°ú¹ßÇ¥] 2023³â 1ºÐ±â Æ÷ÀÎÆ® ¼ÒÁø ·Î¶Ç 15
[°á°ú¹ßÇ¥] 2022³â 4ºÐ±â Æ÷ÀÎÆ® ¼ÒÁø ·Î¶Ç 27

½Ç½Ã°£ ´ñ±Û
¼Ò¼È ³×Æ®¿öÅ©