이차전지 및 반도체 비전 검사 전문기업 아이비젼웍스(469750)가 유리기판 마이크로 크렉 결함 검사 기술 특허를 출원했다고 2일 밝혔다.
이번 특허는 유리기판 마이크로 크렉 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 광학 검사 기술에 대한 특허다. 유리기판의 TGV(Through Glass Via, 유리관통전극) 홀 가공 이후 잔존 마이크로 크랙을 검사하여 후 공정 시 기판 파손을 예방할 수 있는 핵심 검사 기술이다.
유리기판은 TGV 홀 가공 이후 잔존 마이크로 크랙이 후공정에서 파손을 유발하는 주요 리스크로 꼽힌다. 아이비젼웍스는 이를 해결하기 위해 신기술 광원과 고해상 이미징 시스템을 적용, 기존 검사 방식으로는 구분하기 어려웠던 미세 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 기술을 개발했다.
업계에서는 반도체·디스플레이용 유리기판의 고집적화가 가속화되면서, TGV 공정 이후 결함 관리가 핵심 품질 변수로 부상하고 있다고 분석한다. 특히 AI·고성능 패키징 시대를 맞아 유리기판 채택이 확대되는 가운데, 검사 공정의 정밀도는 공급망 신뢰성 확보의 관건으로 꼽힌다.
아이비젼웍스는 단기적으로 유리기판 고객사 레퍼런스를 확보해 글로벌 시장 진입 발판을 마련하고, 중기적으로 검사 기능을 고도화해 고객 맞춤형 포트폴리오를 구축할 계획이다.
아이비젼웍스 관계자는 “해당 기술은 유리기판 상업화에 걸림돌이 되었던 마이크로 크랙에 대한 해결책이 될 수 있다”며 “유리원판부터 마이크로 크랙 검사를 통해 유리기판 품질 관리가 가능하다. 해달 기술은 내년 상반기에 상용화를 목표로 개발 중이다”라고 전했다.
이어 “마이크로 크랙 검출 특허를 기반으로 유리기판 검사 시장에서 차별화된 경쟁력을 확보하고, 차세대 패키징 밸류체인에서 핵심 검사 솔루션 기업으로 자리매김하겠다”고 덧붙였다.
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