비코 인스트루먼츠 코리아(대표 한병무)는 오늘 새로운 TurboDisc® EPIK700™ 질화갈륨(GaN) MOCVD 시스템을 출시했다고 밝혔다. 이 제품은 적은 운영 비용으로 동종 업계 제품 중 최고 수준의 생산성과 수율을 제공함으로써 일반 조명 애플리케이션을 위한 LED 제조 비용을 더욱 줄일 수 있다.
시장에서 이미 검증된 비코 고유의 터보디스크(TurboDisc) 기술이 적용된 EPIK700 MOCVD 시스템은 기존 리액터보다 처리 용량이 2배 이상 늘어난 업계 최대형 리액터가 특징이다. 리액터의 수용량이 늘어난 것을 비롯해 리액터에서의 공정 균일성 및 생산성 또한 향상되어 처리량이 기존 리액터에 비해 2.5배나 늘어났다.
비코의 수석 부사장인 윌리암 J 밀러(William J. Miller) 박사는 “EPIK700은 기술적으로 향상된 MOCVD 리액터의 성공적인 라인 중 가장 최신 제품”이라며 “반도체 조명 시장에서의 고객들의 성공을 꾀하기 위해 이 새로운 시스템은 LED 제조 비용을 더욱 낮춤과 동시에 생산성을 더욱 높일 수 있도록 고안됐다”고 말했다.
비코는 2010년 처음 TurboDisc K465iTM GaN MOCVD를 출시한 이래 고객들의 소유비용(CoO)을 개선하기 위해 꾸준히 노력하며 업계 선도적인 MOCVD 장비 공급업체로 자리매김해왔다. 2011년에는 업계 최초의 멀티리액터 MOCVD 시스템인 TurboDisc MaxBright® MOCVD를 출시해 상도 받았다. 이 밖에도 비코의 MOCVD TurboDisc 기술은 2011년부터 2013년까지 매해 LED 무역 협회로부터 업계 최고의 기술로 인정 받았다.
비코 MOCVD의 부사장이자 총괄 이사인 짐 젠슨(Jim Jenson)은 “EPIK700은 LED 산업에 있어 또 다른 게임 체인저”라며 “이 시스템은 캐파 및 처리량 증가 특징 외에도 또는 공간효용성 및 수율을 높이면서 파장 균일성을 향상시킬 수 있는 비코만의 기술력이 집약되어 있다.
최첨단 TurboDisc 리액터 설계를 비롯해 우수한 자동화 기술, 생산성 증대, 소모품 비용 절감 및 풋프린트 효율 향상과 같은 특징을 바탕으로 고객들의 소유 비용을 대폭 절감 또는 개선시켰다”고 말했다.
최근 IHS 리서치의 연구조사 결과에 따르면, LED 시장 보급률은 중국, 일본, 북미 및 유럽 지역 등 주요 시장에서 2016년까지 15%, 2020년에는 두 배인 40%까지 늘어날 것으로 예상된다.
TurboDisc EPIK700 GaN MOCVD 시스템
비코의 새로운 혁신적인 EPIK700 MOCVD 시스템은 LED 업계 최고의 생산성이 특징인 MOCVD 시스템으로 기존 제품에 비해 소유비용을 최대 20% 낮출 수 있다. 1-2개 리액터 구성으로 이용이 가능한 EPIK700은 새로운 IsoFlange™ 중앙 유량 공급장치 및 TruHeat™ 웨이퍼 히터 코일을 포함한 혁신적인 기술이 적용되어 전체 웨이퍼 캐리어에서 균질한 유량 공급(laminar flow) 및 일관된 온도 프로파일(온도 변화 특성)을 제공한다.
이러한 혁신적인 특징들을 바탕으로 파장 균일성을 실현하고 공간효용성은 더욱 올림과 동시에 높은 수율을 제공할 수 있다. EPIK700 시스템은 보다 큰 리액터를 갖추고 있어 기타 다른 시스템에 비해 처리량이 2.5배나 높다. 양산용으로 개발된 EPIK700은 또한 31x4”, 12x6” 및 6x8” 인치의 웨이퍼 캐리어 사이즈에 적용이 가능하다.
기존 TurboDisc 시스템에서 새로운 EPIK700 MOCVD 플랫폼으로 공정을 쉽게 전환할 수 있어 이용 고객들은 보다 빨리 고품질 LED 생산에 착수할 수 있다. EPIK700 MOCVD 시스템은 향후 업그레이드 및 개선이 가능한 유연한 플랫폼을 채택하고 있어 앞으로도 계속해서 차별화 된 세계적 수준의 시스템으로 인정받을 것으로 기대된다.
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