반도체 및 전자부품 신뢰성 분석 기업 큐알티(대표 김영부, QRT)가 반도체 소프트에러 평가를 보다 정밀하고 신속하게 수행할 수 있는 반도체 소자의 방사선 평가 시스템, 빔의 특성 평가 시스템’ 2종의 특허 등록을 완료했다고 11일 밝혔다.
이 특허 기술들은 반도체가 방사입자에 노출되었을 때 발생하는 현상을 정확하게 분석할 수 있는 반도체 동작 기술과 빔 시설의 선속(flux) 및 빔 영역의 균일도를 고려한 유효선량(effective fluence) 측정 기술, 그리고 고장 현상 분류를 위한 효과적인 검출 알고리즘을 기반으로 개발됐다.
한국산업기술평가관리원(KEIT)의 차세대 지능형 반도체 기술개발 사업 지원 국책과제인 중성자에 의한 반도체 소프트에러 검출 상용화 장비 개발’ 과정에서 도출됐으며, 여기에는 각 기준 반도체 소자 배치 방식, 빔의 민감도, 시설에서 보증하는 +/-10%의 빔 영역 내의 변동성 등 종합 분석 데이터를 기반으로 빔 균일성 등의 외부 요인에 의한 오차를 최대한 줄이고, 측정 반도체의 소프트에러 민감성만 정확히 검출할 수 있는 내용도 포함됐다.
큐알티는 신규 특허 시스템을 통해 다양한 가속시설 환경에 따른 소프트에러 특성을 수치로 정량화하고, 상호 연관성 있는 각종 세부 데이터를 확보해 반도체 소프트에러 강건성을 확보할 수 있는 기술적 토대를 마련하게 됐다. 아울러, 반도체 소프트에러 해외 시험소 평가 출장을 위해 제품별/기능별 최적화 모듈 조립이 가능한 모바일 구조도 제공하고 있어, 업계 관계자들이 필요한 소프트에러 데이터를 보다 손쉽게 구축하는 데 도움을 주고 있다.
큐알티는 지난 2년간 소프트에러 검출 시스템과 빔 특성 측정 기술을 중성자, 양성자 등의 다양한 국내외 방사선 시설에서 검증하면서 관련 기술의 우수성을 인정받아 미국 LANSCE와 캐나다 TRIUMF와 같은 해외 중성자 연구소와 공동연구를 진행하고 있으며, 첨단 기술 보호를 위해 국내와 미국, 유럽 등을 대상으로 해외 특허(PCT)를 출원한 상태다.
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