Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Àü¹®±â¾÷ÀÎ ½ºÆÒ¼ÇÀº 28ÀÏ ¼¿ï »ï¼ºµ¿ ±×·£µå ÀÎÅÍÄÜÆ¼³ÙÅ» È£ÅÚ¿¡¼ ¿¸° ¹Ì·¯ºñÆ® Äõµå ±â¼ú ¹ßÇ¥ ±âÀÚ°£´ãȸ Àå¿¡¼ ÀϺ» ¾ÆÀÌÁÖ-¿ÍÄ«¸¶Ã÷¿¡ ¼ÒÀçÇÑ ½ºÆÒ¼Ç ÀçÆÒÀÇ ±âÁ¸ Á¦Á¶°øÀåÀÎ JV1 ¹× JV2¸¦ ÈÄÁöÂê¿¡ ¸Å°¢ÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¾ç»çÀÇ ÇÕÀÇ¿¡ µû¶ó ÈÄÁöÂê´Â Çö±Ý 1¾ï5õ¸¸ ´Þ·¯¸¦ 2007³â 2ºÐ±â Áß¿¡ Áö±ÞÇÏ°Ô µÇ¸ç, ¸Å°¢µÈ µÎ °øÀåÀº ÆÄ¿îµå¸® (¼öʰ¡°ø) ¹æ½ÄÀ» ÅëÇØ ½ºÆÒ¼ÇÀÇ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ½ºÆÒ¼ÇÀº ½ºÆÒ¼ÇÀÇ ¶Ç ´Ù¸¥ Á¦Á¶°øÀåÀÎ JV3´Â ½ºÆÒ¼ÇÀÇ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® »ý»êÀÇ ÇÙ½É °øÀåÀ¸·Î¼ °¡µ¿µÇ°Ô µÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø °øÀåÀÇ ¸Å°¢À¸·Î ½ºÆÒ¼ÇÀº ±âÁ¸ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Á¦Ç°À» Áö¼Ó »ý»êÇØ °í°´¿¡°Ô °ø±ÞÇϸ鼵µ ÷´Ü ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ¿¡ ÁýÁßÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, ÈÄÁöÂê´Â JV1 ¹× JV2 ½Ã¼³°ú ÇÔ²² ¼÷·ÃµÈ ÀηÂÀ» ÀÚ»çÀÇ ·ÎÁ÷ Á¦Ç° »ý»ê¿¡ Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù.
±âÁ¸ JV1 ¹× JV2 ÀηµéÀº ½ºÆÒ¼Ç ¹× ÈÄÁöÂê¿¡ ÀÇÇØ °í¿ëÀÇ À¯ÁöµÉ ¿¹Á¤À̸ç, ½ºÆÒ¼ÇÀº ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀÎ ÃÖ÷´Ü 300mm SP1 °øÀå¿¡ ¼÷·ÃµÈ ÀηÂÀ» ¹èÄ¡ÇÏ¿©, 45nm ±â¹ÝÀÇ ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç°±º »ý»êÀ» °¡¼ÓÈÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ¸Å°¢ ÀÌÈÄ ½ºÆÒ¼ÇÀÇ »ý»ê½Ã¼³ ¹× ÇöȲÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
l ¹Ì±¹ ÅØ»ç½º ¿À½ºÆ¾ ¼ÒÀçÀÇ Fab 25 – 90nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç° »ý»ê, 2007³â Áß 65nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç° »ý»ê ¿¹Á¤
l ÀϺ» ¾ÆÀÌÁÖ-¿ÍÄ«¸¶Ã÷ ¼ÒÀçÀÇ JV3 – 110nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç°±º »ý»ê
l ÀϺ» ¾ÆÀÌÁÖ-¿ÍÄ«¸¶Ã÷ ¼ÒÀçÀÇ SP1 – 300mm ¿þÀÌÆÛ »ç¿ë 45nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç°±º »ý»ê ¿¹Á¤, (2007³â¿¡´Â ½ÃÀå»óȲ¿¡ µû¶ó 65nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç°±º »ý»ê °èȹ)
l TSMC¿Í ÆÄ¿îµå¸® °è¾àÀ» ÅëÇÑ 110nm ¹× 90nm ¹Ì·¯ºñÆ® Á¦Ç°±º »ý»ê
l ¸Å°¢µÈ JV1 ¹× JV2´Â ÈÄÁöÂê¿Í ÆÄ¿îµå¸® °è¾àÀ» ÅëÇØ ±âÁ¸Á¦Ç°±º »ý»ê
|