½ºÆÒ¼ÇÀº 300mm ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ 45nm °øÁ¤±â¼úÀÇ SONOS ±¸Á¶ÀÇ ¼¿À» °¡Áø Â÷¼¼´ë ´ë¿ë·® ¹Ì·¯ºñÆ® ¸Þ¸ð¸® ±â¼úÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
½ºÆÒ¼ÇÀº ÀÚ»çÀÇ ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®´Â ÇöÀç±îÁö 20¾ï ´Þ·¯ ÀÌ»óÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇßÀ¸¸ç ½ºÆÒ¼Ç ÀÚüÀÇ Àüü ³ë¾î Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® »ý»ê·®ÀÇ ¾à70%¸¦ Â÷ÁöÇϰí ÀÖ´Ù°í ÀüÇϸç, Áö±Ý±îÁöÀÇ ÇÃ·ÎÆÃ °ÔÀÌÆ® ¹æ½ÄÀÇ ¸Þ¸ð¸®´Â »êȸ·(Oxide)¿¡ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏÁö¸¸, SONOS ¹æ½Ä¿¡¼´Â ºÎµµÃ¼ÀÎ Áúȸ·(Nitride)¿¡ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏ°Ô µÇ¾î, ÀúÀåµÈ µ¥ÀÌÅÍÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ´õ¿í ³ô¾ÆÁö°í, ¼¿ »çÀÌÁ ´õ¿í Ãà¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ±â¼úÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
½ºÆÒ¼ÇÀº SONOS±¸Á¶ÀÇ ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼úÀº 45nm ÀÌÇÏ °øÁ¤¿¡¼µµ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼¿ »çÀÌÁ Ãà¼ÒÇØ °¥¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú·Î ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼ú ±â¹ÝÀÇ ¸ðµç Á¦Ç°À» µ¿ÀÏ ÆÕ¿¡¼ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë ¹Ì·¯ºñÆ® ¿À¾î³½µå Á¦Ç°Àº 2009³âÃÊ ¾ç»êµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
|