TSMC´Â High-K/ Metal Gate¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Á¦Á¶ °øÁ¤À» ¹ßÇ¥Çß°í ÀÌ ±â¼úÀº 32nm°¡ ¾Æ´Ñ 28nm °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÒ °ÍÀ̶ó´Â ¼Ò½ÄÀÌ fudzilla¿¡ ¿Ã¶ó¿Ô´Ù.
TSMC´Â ¾ÕÀ¸·Î µîÀåÇÒ 32nm °øÁ¤ÀÇ ¼¼ºÎ»çÇ×À» ¼Ò°³ÇßÀ¸¸ç, 45nm °øÁ¤ ±â¼úº¸´Ù 32nm °øÁ¤Àº °¡°ÝÀûÀ¸·Î À̵æÀÌ ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾ð±ÞÇß´Ù. ¹Ý¸é, 28nm °øÁ¤Àº Full-node °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÏ°Ô µÉ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
TSMC´Â 28nm °øÁ¤¿¡ 2°¡Áö ¿É¼ÇÀ» Á¦°øÇϴµ¥ ±× µÎ °¡Áö´Â °¢°¢ SiON°ú High-K/ Metal-GateÀÌ´Ù. ÀÌ Áß High-K/ Metal-Gate´Â ´Ù½Ã ÀúÀü·Â°ú °í¼º´ÉÀÇ µÎ °¡Áö ¹öÀüÀ¸·Î ³ª´µ°Ô µÈ´Ù.
TSMC´Â Ãʱ⿡ 32nm °øÁ¤¿¡ High-K/ Metal-Gate¸¦ Àû¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¼Ò°³ÇßÁö¸¸, 28nm °øÁ¤À» Àû¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î Á¤Ã¥À» ¹Ù²Ù°Ô µÇ¾ú´Ù.
ÇöÀç TSMCÀÇ °æÀï»ç·Î ¾Ë·ÁÁø IBM°ú SAMSUNGÀº High-K/ Metal-Gate ±â¼úÀ» 32nm °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ¾î °øÁ¤ °æÀï¿¡¼ TSMC°¡ ¿ìÀ§¸¦ Á¡Çϰí À̵麸´Ù ±â¼úÀû ¿ìÀ§¿¡ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë¸®·Á´Â °ÍÀ¸·Î º¸¿©Áø´Ù.
|