ÇöÀç ÁÖ¿ä ÆÄ¿îµå¸® Á¦Á¶»ç´Â 300mm ¿þÀÌÆÛ (Wafers)¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ĨÀ» »ý»êÇϰí ÀÖÀ¸³ª ¾ÕÀ¸·Î´Â 450mm ¿þÀÌÆÛ¿Í EUV (Extreme Ultraviolet Lithography) ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ ĨÀ» »ý»êÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌµé ±â¼úÀº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ±â¼úÀûÀÎ ¾î·Á¿òÀ» °Þ°í ÀÖ¾î ¼ö³âÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÀÎÅÚÀº 450mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ µµÀÔÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç ÁßÀÇ ÇϳªÁö¸¸ Áö³ÇØ ÀÏÁ¤À» ¿¬±âÇØ 2018³â Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß°í ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ø±Þ ¾÷üÀÎ ASMLÀÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê ¼³ºñ »ý»ê Áß´Ü µî¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
¿©±â¿¡ ÃÖ±Ù semiwiki¸¦ ÀοëÇÑ wccftech´Â ÀÎÅÚÀÇ 450mm ¿þÀÌÆÛ µµÀÔÀÌ Áö³ÇØ ¾ð±ÞµÈ 2018³âº¸´Ù ´õ ´Ê¾îÁú °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ »çÀÌÆ®¿¡ µû¸£¸é ÀÎÅÚÀº SPIE ÄÁÆÛ·±½º¸¦ ÅëÇØ 450mm ¿þÀÌÆÛ ¾÷±×·¹ÀÌµå °èȹÀ» ¿¬±âÇß´Ù´Â ³»¿ëÀ» ÀüÇßÀ¸¸ç µµÀÔ ½Ã±â·Î´Â ´Ù½Ã 5³â ÈÄÀÎ 2023³âÀÌ µÉ °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.

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ÀÌ·¯ÇÑ ¿¬±â¿¡ ÀÇÇØ 450mm ¿þÀÌÆÛ ¾ç»ê¿¡´Â 10nm °øÁ¤º¸´Ù ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ 7nm °øÁ¤ÀÌ µµÀ﵃ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇßÀ¸¸ç 450mm ¿þÀÌÆÛ´Â ±âÁ¸ 300mm ¿þÀÌÆÛ¿Í ºñ±³ÇØ ¸éÀûÀº 125% Çâ»ó, ºñ¿ëÀº 20-30% °³¼± µîÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. EUV ±â¼úÀº 7nm ¶Ç´Â 5nm³ª ±× ÀÌÇÏ °øÁ¤¿¡¼ Çâ»óÀ» ¿¹»óÇϰí ÀÖ´Â ¸¸Å µµÀÔ ½Ã±â´Â ±×¸¸Å ´Ê¾îÁö´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ ¿Ü¿¡µµ PC ½ÃÀåÀÇ ¼ö¿ä °¨¼Ò¿Í ±â¼ú·Â, ÀÚº», EUV Àåºñ¸¦ ¸¸µå´Â ASMLÀÇ »ó¾÷È ½Ã±â (2015³â) µî ¿©·¯ ¹®Á¦°¡ °Å·ÐµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÀÎÅÚ ¿Ü¿¡µµ 450mm ¿þÀÌÆÛ µµÀÔ¿¡ ´ëÇØ ¿©·¯ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµé ¿ª½Ã °í·Á ÁßÀ̳ª Àڱݷ°ú ±â¼ú·ÂÀ» °®Ãá ÀÎÅÚÀÌ ÀÌó·³ ´Ê¾îÁö´Â °ÍÀ» °í·ÁÇÏ¸é ´çºÐ°£ ´Ù¸¥ Á¦Á¶»çÀÇ 450mm ¿þÀÌÆÛÀÇ ºü¸¥ µîÀåÀ» ±â´ëÇϱâ´Â ¾î·Á¿ö º¸ÀδÙ.
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