도시바(Toshiba)와 샌디스크(SanDisk)가 300mm 낸드 플래시 메모리 제조설비를 개소했다고 밝혔다.
이번 300mm 웨이퍼 낸드 제조설비는 지난 2010년 9월에 도시바와 샌디스크가 설립한 합작투자사 '플래시 포워드'가 일본 미에현에 위치한 도시바의 요카이치 공장에 3번째 300mm 웨이퍼 낸드 제조설비 Fab 5에 투자한 것으로, 이달부터 양산을 시작해 첫 웨이퍼는 8월에 생산될 예정이다.
Fab 5는 유사시에 대비해 첨단 내진설계와 다중 전력 보충 장치를 갖췄으며, 기존의 도시바 Fab 4에 비해 CO2 배출을 12% 감소하기 위해 LED 조명 및 전력 절감 제조 설비를 갖췄다.
Fab 5는 현재 24nm(나노미터) 공정 기술을 사용하고 있으며 최근 발표된 세계 최소형의 최첨단 공정 노드인 19nm 기술을 시작으로 보다 최첨단 공정 기술로 전환할 예정이다.
도시바와 샌디스크는 합작투자사인 플래시 포워드에 각각 50.1퍼센트와 49.9퍼센트를 출자했다.
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