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전송 2012-10-29 12:38
[뉴스]

TSMC, 450mm Fab과 EUV 리소그래피 기술은 10nm와 7nm 공정의 중요한 열쇠

TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.)는 450mm 제조의 중요성을 다시 강조하며 대형 웨이퍼와 EUV (Extreme Ultraviolet) 리소그래피 (Lithography)가 7nm와 10nm 공정 제조의 중요한 열쇠가 될 것이라고 밝혔다.

 

Morris Chang TSMC 회장은 EUV 리소그래피 (리소그래피는 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 기판에 그려 집적회로를 만드는 기술, EUV 리소그래피 (극자외선 리소그래피)는 기존 칩 개발에 사용되는 DUV (Deep Ultraviolet) 리소그래피 기술과 비교해 20분의 1 수준의 파장 광선만으로 개별 회로를 미세한 크기로 조정할 수 있고 이에 따라 회로의 수도 늘어나 프로세서의 성능 향상도 가능해진다.)와 450mm 웨이퍼 기술 및 Fab은 10nm와 그 이상의 공정 기술에 중요하며, EUV 리소그래피 기술은 경제적인 부분에도 중요하다고 언급했다. 또한 ASML의 성공 여부가 EUV 리소그래피 기술에 영향을 줄 것이라고 전했다.

 

현재 ASML은 6개의 준비단계로 NXE:3100 EUV 시스템을 이용해 11W Light Source로 시간 당 최대 7 웨이퍼 (Wafers)를 생산할 수 있는 것으로 알려졌으며 ASML과 Cymer의 협력을 통해 여름 즈음에는 이를 더 개선할 것으로 알려졌다. 30W Light Source를 이용하는 NXE:3300B를 통해 시간 당 18 웨이퍼 생산이 가능할 것으로 예상했다. ASML은 앞으로 105W 또는 시간 당 69 웨이퍼 생산을 목표로 2014년 마이크로 칩 생산을 달성할 계획이라고 전했다.

 

 

xbitlabs는 TSMC는 450mm 웨이퍼 라인이 2016년 또는 2017년 동작을 시작할 것으로 예상했으며, TSMC의 로드맵에 따르면 450mm 웨이퍼 기반의 상업 칩 생산을 2018년부터 가능할 것으로 전망했다.

 

TSMC는 10nm FinFET 제조 기술을 2016년, 450mm 웨이퍼 기반의 첫 상업 칩은 10nm 공정 이용 또는 7nm 제조 공정을 이용할 것이라고 전했다.

 

최근 TSMC는 450mm 웨이퍼 테스트 생산을 위한 Fab과 10nm/ 7nm 연구 개발을 위해 대만 Chunan에 14 헥타르 (14 Hectares)의 부지를 매입했고 TSMC의 Hsinchu의 과학공원 (Science Park)으로부터 20분 거리에 있어 매우 가까운 것으로 알려졌다.

 

한편 TSMC (ASML 지분 5%) 외에도 450mm 웨이퍼 개발을 위해 인텔과 삼성전자 역시 ASML의 지분을 각각 15%와 3% 인수해 전체 23%의 지분을 소유하는 등 차세대 EUV (극자외선) 리소그래피 기술과 450mm 웨이퍼 개발에 힘쏟고 있다.

  태그(Tag)  : TSMC, 파운드리
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  권경욱 前 기자 / 필명 바이퍼투 / 바이퍼투님에게 문의하기 press@bodnara.co.kr
남들은 스마트폰이나 타블렛 PC에 관심을 갖고 있지만, 여전히 PC가 좋다. 새로운 것, 독특한 것을 좋아하지만, 남앞에 나서거나 사진찍히는 것을 싫어해 기자에는 제일 어울리지 않는 성격. 누구보다 빠르게 PC 하드웨어 정보를 전달하기 위해 노력하고 있으며, PC 하드웨어에 대한 열정은 현재진행형이다.
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기자의 시각이 항상 옳은것은 아닙니다. 나머지는 여러분들이 채워 주십시요.

2014년부터 어려운 이야기를 쉽게 하는 것으로 편집방침을 바꿉니다.

마프티 psywind님의 미디어로그 가기  / 12-10-29 14:23/ 자국/ 신고/ 이댓글에댓글달기
어째 미세공정도 점점 한계에 이르는듯 ㅎㅎ

Exynos / 12-10-30 0:53/ 자국/ 신고/ 이댓글에댓글달기
향후 시간이 지나면 수율이 좋아지겠네요 ㅎ

Meho ho5945님의 미디어로그 가기  / 12-10-30 9:57/ 자국/ 신고/ 이댓글에댓글달기
그럼 10nm공정은 기술 변경 과도기로서 좀 오래 가겠지만 안정성은 좀 떨어질지도..... 조심해야겠네요.

프리스트 rubychan님의 미디어로그 가기  / 12-11-05 9:43/ 자국/ 신고/ 이댓글에댓글달기
10nm 이하에서는 수율 문제가 없길..
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