TSMC¿¡¼ 2013³â ¸» 16nm FinFET »ý»êÀ» °èȹÇÏ°í ÀÖ´Â °Í°ú °ü·ÃÇØ, Â÷±â °øÁ¤ Àüȯ¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸°¡ °ø°³µÇ¾ú´Ù.
EETimes´Â TSMC°¡ ¾ð·Ð»çµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î °³ÃÖÇÑ ¹ÌÆÿ¡¼ 2015³â ÇϹݱâ EUV(extreme ultraviolet lithography)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ 10nm °øÁ¤ Ĩ »ý»êÀ» °èȹÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, EUV °øÁ¤ÀÇ ´ë¾ÈÀ¸·Î e-beamÀ» ÀÌ¿ëÇÑ 10nm »ý»ê ¿ª½Ã ¿¬±¸ ÁßÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.
ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ TSMCÀÇ Ã¢¾÷ÀÚÀÌÀÚ CEOÀÎ ¸ð¸®½º â(Morris Chang)Àº "¿ì¸®´Â ¾à 7 ~ 8³â ÀÌ»óÀ» ¿¹ÃøÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, 10nm´Â ¹°·Ð 7nm °øÁ¤±îÁö ¹ßÀüÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù."À̶ó°í Àå·¡ °èȹÀ» ¾ð±ÞÇϸç, ÀÏ°¢¿¡¼ ¾ÕÀ¸·Î ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ÀÌ À¯ÁöµÇ±â ¾î·Á¿ï °ÍÀ̶ó´Â Àü¸Á°ú °ü·Ã "¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢Àº ¾ÕÀ¸·Îµµ Áö¼ÓµÉ °ÍÀ̸ç, ¿ì¸®°¡ ¹Ù·Î °Å±â ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù"¶ó°í ¸»ÇØ °øÁ¤ °³¼±°ú ±â¼ú °³¹ßÀ» À§ÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÅõÀÚÇÒ °ÍÀÓÀ» ½Ã»çÇß´Ù.
450mm ¿þÀÌÆÛ(ÁÂ) / 300mm ¿þÀÌÆÛ(¿ì)
ÇÑÆí, TSMC´Â ¿Ã 2013³â 9½Ê¾ï ´Þ·¯ ÀÌ»óÀ» ÅõÀÚÇÒ °èȹÀ¸·Î, ÇöÀç 28nm °øÁ¤¿¡¼ 20nm¿Í 16nm·ÎÀÇ ÀüȯÀº ¿¹»óº¸´Ù ºü¸£°Ô ÀÌ·ïÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç, ÇöÀç¿Í °°Àº ¼ºÀå¼¼°¡ Áö¼ÓµÈ´Ù¸é 2017³â¿¡´Â ¸Å ¿ù 1350¸¸ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù.
|