ÀÎÅÚÀÌ 45nm °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼ Æ渰 Á¦Ç° Áß ÃÖÃÊ·Î ¼±º¸ÀÎ ´Ù¼¸ °³ÀÇ Ãʱ⠹öÀü Á¦Ç°ÀÌ Á¦´ë·Î ÀÛµ¿ ÁßÀ̶ó°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÎÅÚÀº ±Ùº»ÀûÀÎ Æ®·£Áö½ºÅÍ µðÀÚÀΰú °ü·ÃµÈ °¡Àå Å« ¼º°ú Áß Çϳª·Î ÀÚ»çÀÇ 45nm Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ´Ü¿º® ¹× ½ºÀ§Äª °ÔÀÌÆ®¸¦ ±¸ÃàÇϴµ¥ 2°¡Áö ½Å¼ÒÀ縦 »ç¿ëÇÏ°í À־Ƶµ °ø°³Çß´Ù. ÀÌ Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ±â´É ´öºÐ¿¡ ÀÎÅÚÀº Àü±â ´©Ãâ·®Àº °¨¼Ò½ÃÅ°¸é¼ ±â·ÏÀûÀÎ ¼Óµµ¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥½ºÅ©Å¾, ³ëÆ®ºÏ ¹× ¼¹ö ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ýÀÚ°¡ 2³â¸¶´Ù 2¹è·Î Áõ°¡ÇÑ´Ù´Â ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» ÇâÈÄ 10³â µ¿¾È °è¼Ó Àû¿ë °¡´ÉÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù°í ¾ð±ÞÇß´Ù.
ÇÏÀÌÄÉÀÌ ¹× ¸ÞÅ» °ÔÀÌÆ®°¡ Àû¿ëµÈ ÀÎÅÚÀÇ 45nm Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â ¾÷°è¿¡¼ ÇöÀç »ç¿ëµÇ´ø ½Ç¸®ÄÜ ´ÙÀÌ¿Á»çÀÌµå °ÔÀÌÆ® Àý¿¬Ã¼¸¦ Àü·ù ´©ÃâÀÌ 10¹è³ª ÀûÀº ÇÏÇÁ´½(hafnium) ±â¹ÝÀÇ ÇÏÀÌÄÉÀÌ ¼ÒÀç·Î ±³Ã¼ÇßÀ¸¸ç, ÇÏÀÌÄÉÀÌ Àý¿¬Ã¼¿Í ȣȯµÇÁö ¾Ê´Â ½Ç¸®ÄÜ °ÔÀÌÆ® Àü±ØÀ» »õ·Î¿î ¸ÞÅ» °ÔÀÌÆ® ¼ÒÀ縦 ÅëÇؼ »ç¿ëÇÏ¿© µå¶óÀ̺ê Àü·ù·®À» 20% ÀÌ»ó Áõ°¡½ÃÅ°°Å³ª Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼º´ÉÀ» ´õ¿í °È½ÃÄ×´Ù.
45nm °øÁ¤ ±â¼úÀº Æ®·£Áö½ºÅÍ ÁýÀûµµµµ ÀÌÀü ¼¼´ëº¸´Ù ¾à 2¹è Á¤µµ Çâ»ó½ÃÅ°±â ¶§¹®¿¡ Àüü Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ö¸¦ Áõ°¡½ÃÅ°°Å³ª ÇÁ·Î¼¼¼ Å©±â¸¦ Ãà¼Ò½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. 45nm Æ®·£Áö½ºÅ͵éÀº ÀÌÀü ¼¼´ëº¸´Ù Å©±â°¡ À۱⠶§¹®¿¡ ½ºÀ§Ä¡¸¦ ÄÑ°í ²ô´Âµ¥ ´õ ÀûÀº ¿¡³ÊÁö¸¦ ¼ÒºñÇÏ¿© ½ºÀ§Äª ÆÄ¿ö¸¦ ¾à 30%±îÁö Àý°¨½ÃŲ´Ù. ÀÎÅÚÀº ÀÚ»çÀÇ 45nm ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ®(interconnect)ÀÇ ¼º´É ÁõÁø ¹× Àü·Â ¼Ò¸ð·® °¨¼Ò¸¦ À§ÇØ ·ÎÄÉÀÌ(low-k) Àý¿¬Ã¼°¡ žÀçµÈ µ¿¼±À» »ç¿ëÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, °¡°Ý ¿ìÀ§ ¹× ³ôÀº Á¦Á¶°¡´É¼ºÀ» Á¦°øÇÏ´Â 193³ª³ë µå¶óÀÌ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(dry lithography)¸¦ 45nm ÇÁ·Î¼¼¼ Á¦Á¶¿¡±îÁö È®´ë, Àû¿ëÇϱâ À§ÇØ Çõ½ÅÀûÀÎ µðÀÚÀÎ ±ÔÄ¢°ú °í±Þ ¸¶½ºÅ©(mask) ±â¹ýµµ »ç¿ëÇÏ°Ô µÈ´Ù.
Æ渰(Penryn) ÇÁ·Î¼¼¼ Á¦Ç¬±ºÀº ÀÎÅÚ ÄÚ¾î ¸¶ÀÌÅ©·Î¾ÆÅ°ÅØÃÄÀÇ ÆÄ»ý¹°ÀÌÀÚ »õ·Î¿î °øÁ¤ ±â¼ú ¹× »õ·Î¿î ¸¶ÀÌÅ©·Î¾ÆÅ°ÅØÃĸ¦ 2³â ¸¶´Ù Á¦°øÇÏ·Á´Â ÀÎÅÚÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ ±â¼ú ¹ßÀüÀÇ ´ÙÀ½ ´Ü°è¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. ¼±µµÀûÀÎ 45nm °øÁ¤ ±â¼ú, ´ë·® Á¦Á¶ ´É·Â, ÁÖ¿ä ¸¶ÀÌÅ©·Î¾ÆÅ°ÅØÃÄ µðÀÚÀÎÀÇ °áÇÕÀ» ÅëÇØ ÀÎÅÚÀº µ¥½ºÅ©Å¾, ¸ð¹ÙÀÏ, ¿öÅ©½ºÅ×ÀÌ¼Ç ¹× ¿£ÅÍÇÁ¶óÀÌÁî ½ÃÀå Àü¹Ý¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â 15°³ ÀÌ»óÀÇ 45nm ±â¹Ý Á¦Ç°À» °³¹ß ÁßÀ̸ç, µà¾ó ÄÚ¾î ÇÁ·Î¼¼¼¿¡´Â 4¾ï °³, Äõµå ÄÚ¾î ÇÁ·Î¼¼¼¿¡´Â 8¾ï °³ ÀÌ»óÀÇ Æ®·£Áö½ºÅÍ°¡ žÀçµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Æ渰Àº ¿ì¼öÇÑ ¼º´É ¹× Àü·Â °ü¸® ´É·Â »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÄÚ¾îÀÇ ¼Óµµ Çâ»ó ¹× ÃÖ´ë 12MBÀÇ Ä³½Ã¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§ÇÑ »õ·Î¿î ¸¶ÀÌÅ©·Î¾ÆÅ°ÅØÃÄ ±â´ÉµéÀÌ ³»ÀåµÈ´Ù. Æ渰 Á¦Ç°±º µðÀÚÀÎÀº ¹Ìµð¾î ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ¹× °í¼º´É ÄÄÇ»Æà ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÀûÇÕÇϵµ·Ï ±â´É°ú ¼º´ÉÀ» °È½ÃÅ°´Â ¾à 50°³ÀÇ »õ·Î¿î ÀÎÅÚ SSE4 ¸í·É¾î¸¦ ½ÇÇàÇÑ´Ù.
|