삼성전자가 차세대 리소그래피(노광) 기술을 위해 네덜란드의 ASML사의 고객 공동 투자 프로그램에 합류했다.
ASML 홀딩 NV(이하 ASML)은 보도자료를 통해 삼성전자가 5년간 실시되는 차세대 리소그래피 기술 개발을 위한 고객 공동 투자 프로그램에 참여했다고 밝혔다.
ASML는 지난 7월 9일 차세대 EUV(극자외선) 리소그래피 기술 개발을 위한 공동 투자 프로그램을 발표하면서 구매 대상 고객들에게 투자금을 받는 형식의 R&D 펀드를 조성했는데, 삼성전자도 이 프로그램에 합류해 향후 5년간 2억 7,600만 유로를 투자하기로 했다.
또한 삼성전자는 5억 300만 유로를 투자해 ASML의 지분 3%를 인수했다. 삼성전자에 앞서 ASML의 주요 고객인 인텔과 TSMC도 각각 15%와 5%의 ASML 지분을 인수한 바 있다.
이에 따라 인텔, TSMC, 삼성전자는 ASML에 총 38억 5천만 유로를 투자해 23%의 지분을 가졌으며, 차세대 리소그래피 장비 구매에 있어서도 다른 기업들보다 우선 도입이 가능할 것으로 보인다.
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