니콘(Nikon)이 ASML과 칼 짜이즈(Carl Zeiss)에 특허 소송을 제기했다.
니콘은 보도자료를 통해 반도체 노광 장치를 제조 및 판매하는 네덜란드 업체 ASML 홍딩스 및 제휴사, 그리고 ASML에 광학 부품을 공급하는 독일 칼 짜이즈에 특허 침해 중단을 요구하는 소송을 네덜란드, 독일, 일본에서 제기했다고 밝혔다.
니콘에 따르면 2000년대 초에 니콘이 개발한 침수 노광 기술은 스마트폰, 메모리 칩 등 다양한 제품에서 사용되는 최첨단 반도체 제조 필수 기술이며, 현재 침수 노광 장치를 제조/판매하고 있는 곳은 니콘과 ASML 두 회사 밖에 없다.
그런데 니콘 측은 반도체 제조에 세계적으로 사용되는 ASML 노광 장치에서 자사의 특허를 무단으로 사용하고 있는 사실을 확인했으며 지금까지 ASML과 짜이즈에 해당 문제를 협의했으나 합의에 도달하지 못해 법적 권리를 행사하게 되었다고 설명했다.
니콘은 네덜란드 헤이그 지방법원에 ASML을 대상으로 11개의 특허 침해 소송을 제기했으며 도쿄 지방 법원에서도 특허 침해 제소를 했다. 또한 ASML 침수 노광 장치에 사용되는 광학 부품을 제조하고 있는 칼 짜이즈를 대상으로는 독일 만하임 지방 법원에 제소했다.
니콘은 ASML이 지난 2016년 매출의 76.3%에 해당하는 약 35억 유로가 반도체 침수 노광 장치의 판매에 의한 것이라고 밝히고 있는 만큼 이 장치에 자사의 특허 기술이 사용되고 있기 때문에 제품의 유통/판매 금지와 함께 손해배상을 청구했다고 밝혔다.
니콘은 지난 2001년에도 특허 무단 사용으로 미국에서 ASML과 짜이즈에 소송을 제기했고 2004년 포괄적 합의에 이르러 크로스 라이센스 계약을 체결했지만 일부 특허만 영구 라이센스 계약을 맺고 나머지 특허들에 대해서는 2009년 12월 31일까지 한시적인 라이센스 계약을 했다. 또한 양사는 2014년 12월 31일까지 소송을 제기하지 않기로 유예기간을 두었다.
한편, 특허 침해 소송을 당한 ASML은 니콘의 주장에 대해 이번 소송과 관련된 통보를 받지 못했으며 특허권 위반 혐의를 절대 인정하지 않고 적극적인 법적 대응을 할 것이라고 밝혔다. ASML의 피터 베닝크 사장은 니콘이 협상을 위한 진정성 있는 노력을 보이지 않고 소송을 제기하기로 결정한 것은 유감스러운 일이라는 입장을 내비쳤다.
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